Z轴最大加速度:450mm/s²
Z轴精确度:3.0+L/100μm
仪器外观尺寸:1100mm×1200mm×1650mm
操作环境温度:20℃±2.0℃
X,Y轴精确度:2.8+L/200μm
X,Y轴最大加速度:1000/s²
工作台承重:100kg
净重:900kg
光栅尺分辨率:0.1μm
输入电压:93-264 VAC
放大倍率:15x -540x to 30x -1080x
测量范围:400mm×500mm×250mmN
变焦镜头(光学,数位):36x(12x,3x)
加工定制:否
可售卖地:北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆